انرژی فعالسازی واکنش در CVD حرارتی از منبع گرمایی شکل می گیرد. درجه حرارت های بالای سوبسترا می تواند باعث آلودگی، اچ کردن، حتی ذوب شود. روش های دیگری مانند CVD سیم داغ (HWCVD)، که پیش ماده را به اشکال واکنش پذیرتری تبدیل می کند و اجازه می دهد که دماهای تعدیل شده سوبسترا مورد استفاده قرار بگیرد.